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武进区粉尘真空吸盘推荐厂家

更新时间:2025-10-03      点击次数:2

    所述四脚连盘架5下端与高效吸附盘机构6上端相连接,所述连接脚座1与l型架9为一体化结构,所述l型架9上端内侧与嵌槽接块10外端相焊接,所述滑轨杆架2外侧嵌入安装于嵌槽接块10内,所述滑轨槽11与滑轨杆架2为一体化结构,所述高效吸附盘机构6由吸盘体61、衔接圈柱62、支撑轴柱63、活动螺栓64、伸缩弹簧65、上顶盘66、内环胶吸盘67、外环胶吸盘68、环形胶槽盘69、分隔条610、穿孔轴槽611组成,所述吸盘体61上端与上顶盘66下端为一体化结构,所述上顶盘66上端与衔接圈柱62下端相粘合,所述支撑轴柱63下端与衔接圈柱62上端相焊接,所述活动螺栓64下端与支撑轴柱63上端相粘合,所述伸缩弹簧65内环与支撑轴柱63外环为同一轴心,所述活动螺栓64下端与伸缩弹簧65上端相连接,所述吸盘体61与内环胶吸盘67为一体化结构,所述分隔条610后端与吸盘体61前段相粘合,所述外环胶吸盘68与吸盘体61为一体化结构,所述环形胶槽盘69后端与吸盘体61前端相贴合,所述穿孔轴槽611与上顶盘66为一体化结构,所述操控机体7下端与四脚连盘架5上端相连接,所述万向轮8上端与l型架9下端相焊接,所述支撑轴柱63上端通过活动螺栓64与四脚连盘架5下端相连接,所述所述接电器3与操控机体7为一体化结构。浦口区米袋真空吸盘推荐厂家!武进区粉尘真空吸盘推荐厂家

    本实用新型涉及半导体加工制造领域,尤其涉及晶圆减薄机吸附装置,具体为一种用于减薄机的真空吸盘。背景技术:晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。在硅晶圆正面制作完集成电路后,为了降低器件热阻、提高工作散热及冷却能力、便于封装,需要采用减薄机对晶圆进行背面减薄。一方面,晶圆减薄机在磨削过程中,需要将所磨削晶圆置于真空吸盘之上吸附进行磨削过程,对于所涉及的真空吸盘要求能够有效的吸附晶圆,并且能够保证吸盘主体的平整度,以及真空的均匀度,使得减薄机砂轮在磨削时吸附晶圆不发生位移,且吸盘在真空形成的负压之下要能防止产生过大的形变;另一方面,由于加工制造成本相对较高,所以又要保证减薄机所用真空吸盘能够利于更换多次磨削修整后的多孔陶瓷板,且所用底座能够配合多个尺寸类型的真空吸盘。技术实现要素:有鉴于此,本申请提供一种安装方便,能够保证减薄过程中吸盘主体的平整度和真空的均匀度,还能更换多孔陶瓷适于不同尺寸的吸盘配合于同一底座的用于减薄机的真空吸盘。为达到上述目的。静安区糖袋真空吸盘推荐厂家浦口区工业真空吸盘推荐厂家!

    又能够防止吸盘1在真空吸附时产生过大的形变;所述吸盘1主水气通道为螺纹通孔,便于外接真空进行测试;所述辅助水气通道为螺纹通孔,既起到分流作用,又能在内多孔陶瓷板2损耗之后进行辅助拆卸;所述吸盘密封槽11和固定底座密封槽16可用于橡胶密封圈的放置,防止水气泄漏;所述底座13的螺纹孔14用于安装不同尺寸类型的吸盘1;所述内多孔陶瓷板2和外陶瓷环3在同一平面,且高于凸台4,保证了吸盘1的修整余量。以上只是本实用新型的实施方式,应当指出的是,上述实施方式不应视为对本实用新型的限制,本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型的精神和范围内,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

    本实用新型涉及一种搬运设备,具体涉及一种真空吸盘铝卷搬运车。背景技术:目前市场上铝卷搬运设备除了传统的叉车、自动堆高车、电动轨道车等,还有真空吸吊装置挂在电葫芦上实现铝卷的搬运。其中叉车、自动堆高车、电动轨道车等设备只只能起到搬运的作用,无法实现铝卷的翻转与上料对中。而吊具式的真空吸吊机可利用电葫芦的上下升降及吸盘的90度翻转来实现铝卷的短距离搬运和开卷机上料,但此真空吸盘吊具存在使用工位受限,搬运距离较短的缺陷。技术实现要素:本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种结构简单、操作方便、可多工位使用的真空吸盘铝卷搬运车。一种真空吸盘铝卷搬运车,包括车架,所述车架前端设有真空吸盘铝卷举升装置,车架的底部设有行走装置,真空吸盘铝卷举升装置包括可沿车架上下、左右及前后移动的支撑架,支撑架前方设有真空吸盘,车架上设有控制真空吸盘动作的真空动力控制系统。作为上述技术方案的进一步描述:所述真空动力控制系统包括控制箱、蓄能器、吸盘拉钩、真空吸盘推杆、水平移动推杆、前后移动推杆及与蓄能器能量相接,位于控制箱内的真空泵,控制箱设置在车架后方,支撑架包括位于车架宽度方向两侧的支撑臂。高淳区包装袋真空吸盘推荐厂家!

    图中示出了本实用新型实施例三提供的一种防转动的真空吸盘装置,本实施例在上述实施例的基础上还进一步地做出了以下作为改进的技术方案:第1连接杆111的底部卡接于第1吸盘112的顶部上预设的第1卡槽115内,且第1连接杆111的底面和第1卡槽115的槽底之间安装有同心布置的第1内密封圈116和第1外密封圈117。第二连接杆121的底部卡接于第二吸盘122的顶部上预设的第二卡槽125内,且第二连接杆121的底面和第二卡槽125的槽底之间安装有同心布置的第二内密封圈126和第二外密封圈127。每一个吸盘部件连接杆与吸盘的连接处都设置有两层同心布置的密封圈,极大地增强了吸盘的密封性,提升吸盘的吸附效果。实施例四:参见图1至图3,图中示出了本实用新型实施例四提供的一种防转动的真空吸盘装置,本实施例在上述实施例的基础上还进一步地做出了以下作为改进的技术方案:连接孔21为腰型孔。考虑到调节两个吸盘机构间相互位置达到理想的位置的需求,弹片的连接孔被设计为腰型孔。显然,本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内。栖霞区牛皮袋真空吸盘推荐厂家!武进区粉尘真空吸盘推荐厂家

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